Placa de sonda óptica integrada e sistema para teste em lote de estruturas ópticas MEMS com eixo óptico plano usando componentes de bancada micro-óptica

Resumo:

Os aspectos estão relacionados a uma placa de sonda óptica integrada e a um sistema para realizar testes de pastilhas de estruturas de sistemas microeletromecânicos ópticos (MEMS) com um eixo óptico no plano. A triagem óptica on-wafer de estruturas MEMS ópticas pode ser realizada utilizando um ou mais componentes de bancada microóptica para redirecionar a luz entre uma direção fora do plano que é perpendicular ao eixo óptico no plano para uma direção no plano que é paralela ao eixo óptico no plano para permitir o teste das estruturas ópticas de MEMS com injeção vertical da luz.