集成的光学探针卡和系统，用于使用微型光学台架组件对具有面内光轴的光学 MEMS 结构进行批量测试

摘要：

方面涉及集成的光学探针卡和用于对具有面内光轴的光学微机电系统（MEMS）结构进行晶圆测试的系统。可以使用一个或多个微光学台架组件对光学微机电系统结构进行晶圆上光学屏蔽，将光在垂直于面内光轴的面外方向之间重定向到平行于面内光轴的面内方向，从而能够通过垂直注入光来测试光学微机电系统结构。