Tarjeta y sistema de sonda óptica integrados para pruebas por lotes de estructuras MEMS ópticas con eje óptico en el plano utilizando componentes de banco microóptico

Resumen:

Los aspectos se refieren a una tarjeta de sonda óptica integrada y a un sistema para realizar pruebas de obleas de estructuras de sistemas microelectromecánicos ópticos (MEMS) con un eje óptico en el plano. El cribado óptico en oblea de las estructuras MEMS ópticas se puede realizar utilizando uno o más componentes de banco microóptico para redirigir la luz entre una dirección fuera del plano que es perpendicular al eje óptico en el plano y una dirección en el plano que es paralela al eje óptico en el plano para permitir la prueba de las estructuras MEMS ópticas con la inyección vertical de la luz.