Appareil intégré pour l'analyse des fluides

Résumé :

Ce qui suit présente un résumé d'un ou de plusieurs aspects de la présente divulgation, afin de fournir une compréhension de base de ces aspects. Ce résumé n'est pas un aperçu complet de toutes les caractéristiques envisagées de la divulgation et ne vise ni à identifier les éléments clés ou critiques de tous les aspects de la divulgation ni à délimiter la portée de certains ou de tous les aspects de la divulgation. Son seul but est de présenter certains concepts d'un ou de plusieurs aspects de la divulgation sous une forme en prélude à la description plus détaillée qui sera présentée plus loin. Différents aspects de la divulgation concernent des piles à gaz miniaturisées fabriquées à l'aide de la technologie des semi-conducteurs. La cellule à gaz miniaturisée peut être une cellule à gaz à passes multiples ou une cellule à gaz à guide d'ondes creux. Selon certains aspects, la pile à gaz miniaturisée peut comprendre une surface inférieure et des parois latérales formées dans un substrat (par exemple, un substrat en silicium ou un substrat en silicium sur isolant (SOI)). Dans certains exemples, la surface inférieure et/ou les parois latérales peuvent être revêtues d'un matériau réfléchissant, tel qu'un métal à revêtement métallique ou diélectrique. Dans d'autres exemples, la surface inférieure et/ou les parois latérales peuvent comprendre des miroirs de Bragg en silicium. La cellule à gaz comprend en outre au moins une entrée de gaz et au moins une sortie de gaz couplées pour injecter un fluide, tel qu'un gaz, un liquide ou un plasma, dans et hors de la cellule à gaz, respectivement. De plus, la cellule à gaz comprend en outre une entrée optique et une sortie optique, chacune couplée optiquement pour diriger la lumière vers et hors de la cellule à gaz, respectivement. La lumière peut être guidée dans la cellule à gaz au moins par la surface inférieure et les parois latérales.