Dispositivo integrado para el análisis de fluidos

Resumen:

A continuación se presenta un resumen de uno o más aspectos de la presente divulgación, con el fin de proporcionar una comprensión básica de dichos aspectos. Este resumen no es una descripción general exhaustiva de todas las características contempladas de la divulgación y no pretende identificar los elementos clave o críticos de todos los aspectos de la divulgación ni delinear el alcance de alguno o todos los aspectos de la divulgación. Su único propósito es presentar algunos conceptos de uno o más aspectos de la divulgación de forma que sirva de preludio a la descripción más detallada que se presenta más adelante. Diversos aspectos de la descripción se refieren a celdas de gas miniaturizadas fabricadas con tecnología de semiconductores. La celda de gas miniaturizada puede ser una celda de gas de múltiples pasos o una celda de gas con guía de ondas hueca. En algunos aspectos, la pila de gas miniaturizada puede incluir una superficie inferior y paredes laterales formadas en un sustrato (por ejemplo, un sustrato de silicio o un sustrato de silicio sobre aislante (SOI)). En algunos ejemplos, la superficie inferior y/o las paredes laterales pueden estar revestidas con un material reflectante, tal como un metal o un metal revestido dieléctrico. En otros ejemplos, la superficie inferior y/o las paredes laterales pueden incluir espejos Bragg de silicona. La celda de gas incluye además al menos una entrada de gas y al menos una salida de gas acopladas para la inyección de un fluido, tal como un gas, líquido o plasma, dentro y fuera de la celda de gas, respectivamente. Además, la celda de gas incluye además una entrada óptica y una salida óptica, cada una acoplada ópticamente para dirigir la luz hacia adentro y hacia afuera de la celda de gas, respectivamente. La luz puede guiarse en la celda de gas por al menos la superficie inferior y las paredes laterales.