อุปกรณ์แบบบูรณาการสำหรับการวิเคราะห์ของเหลว

บทคัดย่อ:

ต่อไปนี้แสดงบทสรุปหนึ่งแง่มุมขึ้นไปของการเปิดเผยข้อมูลในปัจจุบันเพื่อให้ความเข้าใจพื้นฐานเกี่ยวกับแง่มุมดังกล่าวบทสรุปนี้ไม่ใช่ภาพรวมที่ครอบคลุมของคุณสมบัติที่พิจารณาทั้งหมดของการเปิดเผย และไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อระบุองค์ประกอบสำคัญหรือสำคัญของทุกแง่มุมของการเปิดเผยหรือเพื่อกำหนดขอบเขตของการเปิดเผยข้อมูลใด ๆ หรือทุกแง่มุมของการเปิดเผยวัตถุประสงค์เพียงอย่างเดียวคือการนำเสนอแนวคิดบางประการของแง่มุมหนึ่งอย่างขึ้นไปของการเปิดเผยในรูปแบบเพื่อเป็นการนำเสนอคำอธิบายโดยละเอียดเพิ่มเติมที่นำเสนอในภายหลังแง่มุมต่าง ๆ ของการเปิดเผยเกี่ยวข้องกับเซลล์ก๊าซขนาดเล็กที่ประดิษฐ์โดยใช้เทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์เซลล์ก๊าซขนาดเล็กอาจเป็นเซลล์ก๊าซแบบมัลติพาสหรือเซลล์ก๊าซนำคลื่นกลวงในบางแง่มุม เซลล์ก๊าซขนาดเล็กอาจรวมถึงพื้นผิวด้านล่างและผนังด้านข้างที่เกิดขึ้นในสารตั้งต้น (เช่น พื้นผิวซิลิคอนหรือซิลิคอนบนพื้นผิวฉนวน (SOI))ในบางตัวอย่างพื้นผิวด้านล่างและ/หรือผนังด้านข้างอาจถูกเคลือบด้วยวัสดุสะท้อนแสงเช่นโลหะหรือโลหะเคลือบด้วยไดอิเล็กทริกในตัวอย่างอื่น ๆ พื้นผิวด้านล่างและ/หรือผนังด้านข้างอาจรวมถึงกระจกซิลิกอน Braggเซลล์ก๊าซยังมีช่องเข้าก๊าซอย่างน้อยหนึ่งช่องและเต้าเสียบก๊าซอย่างน้อยหนึ่งช่องที่เชื่อมต่อกันสำหรับการฉีดของเหลว เช่น ก๊าซ ของเหลว หรือพลาสม่าเข้าและออกจากเซลล์ก๊าซตามลำดับนอกจากนี้เซลล์ก๊าซยังมีอินพุตออปติคัลและเอาต์พุตออปติคอล ซึ่งแต่ละเซลล์จะเชื่อมต่อกับแสงโดยตรงเข้าและออกจากเซลล์ก๊าซตามลำดับแสงอาจถูกนำทางในเซลล์แก๊สโดยอย่างน้อยพื้นผิวด้านล่างและผนังด้านข้าง