Dispositivo integrado para análise de fluidos

Resumo:

A seguir, é apresentado um resumo de um ou mais aspectos da presente divulgação, a fim de fornecer uma compreensão básica de tais aspectos. Este resumo não é uma visão geral abrangente de todas as características contempladas da divulgação e não se destina a identificar elementos-chave ou críticos de todos os aspectos da divulgação, nem a delinear o escopo de qualquer ou todos os aspectos da divulgação. Seu único objetivo é apresentar alguns conceitos de um ou mais aspectos da divulgação em um formulário como um prelúdio para a descrição mais detalhada que será apresentada posteriormente. Vários aspectos da divulgação estão relacionados às células de gás miniaturizadas fabricadas com tecnologia de semicondutores. A célula de gás miniaturizada pode ser uma célula de gás de passagem múltipla ou uma célula de gás de guia de onda oca. Em alguns aspectos, a célula de gás miniaturizada pode incluir uma superfície inferior e paredes laterais formadas em um substrato (por exemplo, um substrato de silício ou substrato isolante de silício (SOI)). Em alguns exemplos, a superfície inferior e/ou as paredes laterais podem ser revestidas com um material refletivo, como metal ou metal com revestimento dielétrico. Em outros exemplos, a superfície inferior e/ou as paredes laterais podem incluir espelhos Bragg de silicone. A célula de gás inclui ainda pelo menos uma entrada de gás e pelo menos uma saída de gás acoplada para injeção de um fluido, como gás, líquido ou plasma, para dentro e para fora da célula de gás, respectivamente. Além disso, a célula de gás inclui ainda uma entrada óptica e uma saída óptica, cada uma acoplada opticamente para direcionar a luz para dentro e para fora da célula de gás, respectivamente. A luz pode ser guiada na célula de gás pelo menos pela superfície inferior e pelas paredes laterais.