用于流体分析的集成设备

摘要：

下文概述了本披露的一个或多个方面，以便对这些方面有一个基本的了解。本摘要并不是对披露的所有预期特征的全面概述，其目的既不是确定披露各个方面的关键或关键要素，也不是为了界定披露任何或所有方面的范围。其唯一目的是以一种形式介绍披露的一个或多个方面的一些概念，作为稍后介绍的更详细描述的前奏。披露的各个方面都与使用半导体技术制造的微型化气体电池有关。微型化气体电池可以是多通道气体电池或空心波导气体电池。在某些方面，微型化气体电池可能包括底部表面和在衬底（例如，硅衬底或绝缘体上硅（SOI）衬底）中形成的侧壁。在某些示例中，底部表面和/或侧壁可能涂有反射材料，例如金属或介电涂层金属。在其他示例中，底面和/或侧壁可能包括硅布拉格反射镜。气体电池还包括至少一个气体入口和至少一个气体出口，分别用于将气体、液体或等离子体等流体注入和注出气池。此外，气体电池还包括光学输入和光学输出，两者通过光学耦合，分别引导光线进出气池。气体电池中的光线至少可以由底部表面和侧壁引导。