MICROMIROIR PERFORÉ INTÉGRÉ ET SES APPLICATIONS

Résumé :

Des modes de réalisation de la présente invention concernent un système optique comprenant un substrat dans lequel est gravé un banc micro-optique à l'aide d'une technique de lithographie et de gravure profonde. Le système optique comprend en outre un élément optique à ouverture qui est intégré de manière monolithique au banc micro-optique et formé à l'aide de la technique de lithographie et de gravure profonde. L'élément optique est couplé optiquement pour recevoir un faisceau incident ayant un axe optique dans un plan du substrat et pour transmettre au moins partiellement le faisceau incident à travers celui-ci via l'ouverture. Dans un mode de réalisation, l'ouverture présente une forme rectangulaire, une forme trapézoïdale, une forme triangulaire, une forme arrondie ou une forme arbitraire déterminée par la technique de lithographie et de gravure profonde. Dans un autre mode de réalisation, l'élément optique comprend au moins deux ouvertures qui sont homogènes en ce qui concerne au moins l'une de la hauteur de chacune des deux ouvertures, la largeur de chacune des au moins deux ouvertures et la distance entre les au moins deux ouvertures. Au moins un côté de l'élément optique est métallisé, l'élément optique peut comprendre au moins deux couches de matériau diélectrique de telle sorte que l'ouverture traverse chacune des couches, l'élément optique peut comprendre un miroir à cristaux photoniques et/ou l'élément optique peut être incurvé en deux dimensions ou en trois dimensions. Dans un autre mode de réalisation, l'élément optique possède une réflectivité. La réflectivité peut être déterminée au moins en partie par une ou plusieurs des valeurs suivantes : la largeur de l'ouverture, le décalage entre le centre de l'ouverture et l'axe optique du faisceau incident, et le nombre d'ouvertures à l'intérieur de l'élément optique.