集成开孔微镜及其应用

摘要：

本发明的实施例提供了一种光学系统，该系统包括使用光刻和深度蚀刻技术在其中蚀刻微光学台架的基板。该光学系统还包括一种带孔的光学元件，该元件与微光学平台单片集成在一起，并使用光刻和深度蚀刻技术成型。光学元件通过光学耦合来接收在衬底平面上具有光轴的入射光束，并至少部分地通过孔径将入射光束穿过该光束。在一个实施例中，孔径具有矩形形状、梯形形状、三角形、圆形或由光刻和深度蚀刻技术确定的任意形状。在另一个实施例中，光学元件包括至少两个孔径，这些孔径相对于至少两个孔径的高度、至少两个孔径中每个孔径的宽度以及至少两个孔径之间的间距的至少一个孔径是相同的。光学元件的至少一面是金属化的，光学元件可能包括至少两层介电材料，使孔径穿过每层，光学元件可能包括光子晶体镜和/或光学元件可以弯曲成二维或三维尺寸。在另一个实施例中，光学元件具有反射率。反射率至少可以部分取决于孔径宽度中的一个或多个、孔径中心与入射光束光轴之间的偏移量以及光学元件内的多个孔径。