MICROESPEJO CON ABERTURA INTEGRADO Y APLICACIONES DEL MISMO

Resumen:

Las modalidades de la presente invención proporcionan un sistema óptico que incluye un sustrato que tiene un banco microóptico grabado en el mismo usando una técnica litográfica y de grabado profundo. El sistema óptico incluye además un elemento óptico con aberturas que se integra monolíticamente con el banco microóptico y se forma utilizando la técnica litográfica y de grabado profundo. El elemento óptico está acoplado ópticamente para recibir un haz incidente que tiene un eje óptico en un plano del sustrato y para transmitir al menos parcialmente el haz incidente a través del mismo a través de la abertura. En un ejemplo, la abertura tiene una forma rectangular, una forma trapezoidal, una forma triangular, una forma redondeada o una forma arbitraria determinada mediante la técnica litográfica y de grabado profundo. En una modalidad adicional, el elemento óptico incluye al menos dos aberturas que son homogéneas con respecto a al menos una de la altura de cada una de las al menos dos aberturas, la anchura de cada una de las al menos dos aberturas y la separación entre las al menos dos aberturas. Al menos un lado del elemento óptico está metalizado, el elemento óptico puede incluir al menos dos capas de material dieléctrico de manera que la abertura pase a través de cada una de las capas, el elemento óptico puede incluir un espejo de cristal fotónico y/o el elemento óptico puede estar curvado en dos o tres dimensiones. En otra modalidad, el elemento óptico tiene una reflectividad. La reflectividad puede determinarse, al menos en parte, por una o más de las anchuras de la abertura, una cantidad de compensación entre el centro de la abertura y el eje óptico del haz incidente y una cantidad de aberturas dentro del elemento óptico.