MICRORESPELHO ABERTO INTEGRADO E SUAS APLICAÇÕES

Resumo:

As modalidades da presente invenção fornecem um sistema óptico incluindo um substrato com uma bancada micro-óptica gravada nele usando uma técnica litográfica e de gravação profunda. O sistema óptico inclui ainda um elemento óptico aberto que é monoliticamente integrado à bancada micro-óptica e formado usando a técnica litográfica e de gravação profunda. O elemento óptico é acoplado opticamente para receber um feixe incidente com um eixo óptico em um plano do substrato e para transmitir pelo menos parcialmente o feixe incidente através da abertura. Em uma modalidade, a abertura tem uma forma retangular, uma forma trapezoidal, uma forma triangular, uma forma arredondada ou uma forma arbitrária determinada pela técnica de gravação litográfica e profunda. Em uma modalidade adicional, o elemento óptico inclui pelo menos duas aberturas que são homogêneas em relação a pelo menos uma altura de cada uma das pelo menos duas aberturas, largura de cada uma das pelo menos duas aberturas e separação entre as pelo menos duas aberturas. Pelo menos um lado do elemento óptico é metalizado, o elemento óptico pode incluir pelo menos duas camadas de material dielétrico de forma que a abertura passe por cada uma das camadas, o elemento óptico pode incluir um espelho de cristal fotônico e/ou o elemento óptico pode ser curvo em duas dimensões ou três dimensões. Em outra modalidade, o elemento óptico tem uma refletividade. A refletividade pode ser determinada, pelo menos em parte, por uma ou mais da largura da abertura, uma quantidade de deslocamento entre o centro da abertura e o eixo óptico do feixe incidente e uma série de aberturas dentro do elemento óptico.