ไมโครมิเรอร์แบบรูรับแสงในตัวและการใช้งาน

บทคัดย่อ:

รูปแบบของการประดิษฐ์นี้มีระบบออปติคัลรวมถึงสารตั้งต้นที่มีม้านั่งไมโครออปติคัลแกะสลักไว้โดยใช้เทคนิคการแกะสลักและการแกะสลักแบบลึกระบบออปติคอลยังรวมถึงองค์ประกอบออปติคอลที่มีรูรับแสงที่รวมเข้ากับม้านั่งไมโครออปติคอลแบบเดี่ยวและสร้างขึ้นโดยใช้เทคนิคการแกะสลักและการแกะสลักลึกองค์ประกอบออปติคัลถูกจับคู่ด้วยแสงเพื่อรับลำแสงตกที่มีแกนออปติคอลในระนาบของวัสดุพิมพ์และอย่างน้อยก็ส่งลำแสงที่ตกผ่านทางรูรับแสงบางส่วนในรูปแบบหนึ่งรูรับแสงมีรูปสี่เหลี่ยมผืนผ้ารูปสี่เหลี่ยมคางหมูรูปสามเหลี่ยมทรงกลมหรือรูปร่างตามอำเภอใจที่กำหนดโดยเทคนิคการแกะลิโทกราฟิกและการแกะสลักลึกในรูปประกอบเพิ่มเติมองค์ประกอบออปติคัลประกอบด้วยรูรับแสงอย่างน้อยสองรูที่เหมือนกันเมื่อเทียบกับความสูงอย่างน้อยหนึ่งของแต่ละรูรับแสงอย่างน้อยสองรูรับแสง ความกว้างของแต่ละรูรับแสงอย่างน้อยสองรูรับแสง และการแยกระหว่างรูรับแสงอย่างน้อยสองรูรับแสงอย่างน้อยด้านหนึ่งขององค์ประกอบออปติคัลเป็นโลหะ องค์ประกอบออปติคัลอาจมีวัสดุไดอิเล็กทริกอย่างน้อยสองชั้นเช่นที่รูรับแสงผ่านแต่ละชั้นองค์ประกอบออปติคัลอาจรวมถึงกระจกคริสตัลโฟโตนิก และ/หรือองค์ประกอบออปติคอลอาจโค้งในสองมิติหรือสามมิติในรูปแบบอื่นองค์ประกอบออปติคัลมีค่าการสะท้อนแสงการสะท้อนแสงอาจกำหนดอย่างน้อยบางส่วนด้วยความกว้างของรูรับแสงอย่างน้อยหนึ่งส่วน ปริมาณการชดเชยระหว่างศูนย์กลางของรูรับแสงและแกนออปติคอลของลำแสงที่ตกและรูรับแสงจำนวนหนึ่งภายในองค์ประกอบออปติคัล