UNE TECHNIQUE POUR DÉTERMINER LA POSITION DU MIROIR DANS LES INTERFÉROMÈTRES OPTIQUES

Résumé :

Les systèmes interférométriques à système micromécanique (MEMS) utilisent un circuit de détection capacitif pour déterminer la position du miroir mobile. Un actionneur MEMS électrostatique est couplé au miroir mobile pour provoquer le déplacement du miroir mobile. Le circuit de détection de capacité détecte la capacité actuelle de l'actionneur MEMS et détermine la position du miroir mobile sur la base de la capacité actuelle de l'actionneur MEMS.