UMA TÉCNICA PARA DETERMINAR A POSIÇÃO DO ESPELHO EM INTERFERÔMETROS ÓPTICOS

Resumo:

Os sistemas de interferômetro do sistema micromecânico (MEMS) utilizam um circuito de detecção capacitiva para determinar a posição do espelho móvel. Um atuador eletrostático MEMS é acoplado ao espelho móvel para causar o deslocamento do espelho móvel. O circuito de detecção de capacitância detecta a capacitância atual do atuador MEMS e determina a posição do espelho móvel com base na capacitância atual do atuador MEMS.