เทคนิคในการกำหนดตำแหน่งกระจกในออปติคัลอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์
บทคัดย่อ:
ระบบอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ระบบไมโครเมกานิก (MEMS) ใช้วงจรตรวจจับแบบคาปาซิทีฟเพื่อกำหนดตำแหน่งของกระจกที่เคลื่อนย้ายได้แอคชูเอเตอร์ MEMS แบบไฟฟ้าสถิตย์ถูกเชื่อมต่อกับกระจกที่เคลื่อนย้ายได้เพื่อทำให้กระจกเคลื่อนที่ได้วงจรตรวจจับความจุจะตรวจจับความจุกระแสของแอคทูเอเตอร์ MEMS และกำหนดตำแหน่งของกระจกที่เคลื่อนย้ายได้ตามความจุกระแสของตัวกระตุ้น MEMS
รูปภาพ
เจพี2012-557200
สหรัฐอเมริกา
ดาวน์โหลด pdf
นักประดิษฐ์:
、・
ผู้รับมอบอำนาจปัจจุบัน:
ระบบเอสไอแวร์
สถานะ:
Granted
วันที่สถานะ:
February 27, 2018
โดเมน:
ระบบเอสไอแวร์
แอปพลิเคชันทั่วโลก:
2015. สหรัฐอเมริกา 2026. kr au ca wo es ep cn mx jp. 2017. US 2018. il
พร้อมที่จะปรับปรุงกระบวนการวิเคราะห์สำหรับธุรกิจของคุณหรือไม่?
ดู NeoSpectra ในการดำเนินการ และเรียนรู้ว่ามันสามารถปรับปรุงเวิร์กโฟลว์การวิเคราะห์ของคุณได้อย่างไรกรอกแบบฟอร์มเพื่อขอสาธิต และเรายินดีที่จะแนะนำคุณผ่านคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์
ติดต่อเรา