一种确定光学干涉仪中镜像位置的技术

摘要：

微机械系统 (MEMS) 干涉仪系统利用电容感应电路来确定可移动反射镜的位置。静电微机电系统执行器与可移动反射镜耦合，从而导致可移动反射镜的位移。电容检测电路检测微机电系统执行器的电流电容，并根据微机电系统执行器的电流电容确定可移动反射镜的位置。