UNA TÉCNICA PARA DETERMINAR LA POSICIÓN DEL ESPEJO EN INTERFERÓMETROS ÓPTICOS

Resumen:

Los sistemas de interferómetro del sistema micromecánico (MEMS) utilizan un circuito de detección capacitiva para determinar la posición del espejo móvil. Un actuador MEMS electrostático está acoplado al espejo móvil para provocar el desplazamiento del espejo móvil. El circuito de detección de capacitancia detecta la capacitancia actual del actuador MEMS y determina la posición del espejo móvil en función de la capacitancia actual del actuador MEMS.