A cobertura seletiva de etapas da estrutura do microprocesso

Resumo:

A máscara de sombra de abertura com dois ou mais níveis realiza a cobertura seletiva da estrutura de microprocesso em equipamentos de bancada de microóptica. A máscara de sombra está incluída na primeira abertura na superfície superior da máscara de sombra e na segunda abertura na superfície inferior da máscara de sombra. A segunda abertura está alinhada com a primeira abertura e com a segunda largura da primeira largura por ser menor que a primeira abertura. A sobreposição entre a primeira abertura e a segunda abertura se forma máscara de buraco na sombra, o revestimento seletivo que a estrutura do microprocesso em microóptica o equipamento de bancada pode ocorrer junto ao orifício.