การครอบคลุมขั้นตอนที่เลือกของโครงสร้างกระบวนการขนาดเล็ก

บทคัดย่อ:

หน้ากากเงาของการเปิดที่มีสองระดับขึ้นไปตระหนักถึงขั้นตอนที่เลือกของโครงสร้าง micro Process ในอุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติกมาสก์เงาจะรวมอยู่ในช่องแรกในพื้นผิวด้านบนของหน้ากากเงาและช่องที่สองในพื้นผิวด้านล่างของหน้ากากเงาเปิดที่สองจะจัดตำแหน่งกับช่องเปิดแรกและมีความกว้างที่สองของความกว้างแรกเนื่องจากมีการทับซ้อนระหว่างการเปิดครั้งแรกและการเปิดครั้งที่สองจะสร้างรูในหน้ากากเงาที่เลือก การเคลือบที่โครงสร้างกระบวนการไมโครในไมโครออปติกส์อุปกรณ์ม้านั่งสามารถเกิดขึ้นได้จากรู