SYSTÈME, PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR UN INTERFÉROMÈTRE MICRO-USINÉ UTILISANT UNE PUCE À DIVISION OPTIQUE

Résumé :

Un interféromètre MEMS Mach-Zehnder est réalisé à l'aide de deux séparateurs de faisceau demi-plans formés sur les bords respectifs d'un premier milieu. Le premier séparateur de faisceau est couplé optiquement pour recevoir un faisceau incident et fonctionne pour diviser le faisceau incident en deux faisceaux, un premier se propageant dans le premier milieu vers le second séparateur de faisceau et un second se propageant dans un second milieu. Un miroir mobile situé dans le second support réfléchit le second faisceau vers le second diviseur de faisceau pour provoquer une interférence entre les deux faisceaux.