ระบบ วิธี และอุปกรณ์สำหรับอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบไมโครเครื่องโดยใช้ CIP แบบแยกออปติคัล

บทคัดย่อ:

อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ Mach-Zehnder MEMS ทำได้โดยใช้ตัวแยกลำแสงครึ่งระนาบสองตัวที่เกิดขึ้นที่ขอบของตัวกลางแรกตัวแยกลำแสงตัวแรกถูกรวมเข้าด้วยแสงเพื่อรับลำแสงที่ตกและทำงานเพื่อแยกลำแสงที่ตกเป็นสองลำแสงอันแรกแพร่กระจายในสื่อแรกไปยังตัวแยกลำแสงที่สองและลำดับที่สองแพร่กระจายในสื่อที่สองกระจกที่เคลื่อนย้ายได้ในสื่อที่สองสะท้อนลำแสงที่สองกลับไปยังตัวแยกลำแสงที่สองเพื่อทำให้เกิดการรบกวนของลำแสงทั้งสอง