SISTEMA, MÉTODO E APARELHO PARA UM INTERFERÔMETRO MICROUSINADO USANDO CIP DE DIVISÃO ÓPTICA

Resumo:

Um interferômetro MACH-Zehnder MEMS é obtido usando dois divisores de feixe de meio plano formados nas respectivas bordas de um primeiro meio. O primeiro divisor de feixe é acoplado opticamente para receber um feixe incidente e opera para dividir o feixe incidente em dois feixes, um primeiro se propagando no primeiro meio em direção ao segundo divisor de feixe e um segundo se propagando em um segundo meio. Um espelho móvel no segundo meio reflete o segundo feixe de volta para o segundo divisor de feixe para causar interferência dos dois feixes.