使用光学分裂 CIP 的微机械干涉仪的系统、方法和装置

摘要：

Mach-Zehnder 微机电系统干涉仪是使用在第一介质的相应边缘形成的两个半平面分束器实现的。第一光束分离器经过光学耦合以接收入射光束，其作用是将入射光束分成两束光束，第一束在第一介质中向第二光束分离器传播，第二束在第二种介质中传播。第二种介质中的可移动反射镜将第二束光束反射回第二光束分离器，从而对两束光束造成干扰。