AUTO-ÉTALONNAGE POUR LE POSITIONNEMENT DES MIROIRS DANS LES INTERFÉROMÈTRES OPTIQUES MEMS
Résumé :
Un interféromètre à microsystème électromécanique (MEMS) permet l'auto-étalonnage du positionnement du miroir mobile. Le miroir mobile est couplé à un actionneur MEMS à capacité variable. L'interféromètre MEMS comprend un circuit de détection capacitif pour déterminer la capacité de l'actionneur MEMS à au moins deux positions connues du miroir mobile et un module d'étalonnage pour utiliser les capacités de l'actionneur aux positions connues afin de compenser toute dérive dans le circuit de détection capacitif.
Des images
ÉTATS-UNIES20140139839
états-unis
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inventeur :
Mostafa Medhat, Bassem Mortada, Ahmed Othman El Shater, Mohammed Nagy, Mina Gad Seif, Bassam A. Saadany, Amr N. Hafez
cessionnaire actuel :
Systèmes SI Ware SAE SI Ware Systems Inc.
État :
Allowed
Date de statut :
May 23, 2017
domaine :
Systèmes SI Ware SAE SI Ware Systems Inc.
applications dans le monde entier :
2015. États-Unis 2026. kr au ca wo es el cn mx jp. 2017. États-Unis 2018. il
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