AUTOCALIBRAÇÃO PARA POSICIONAMENTO DE ESPELHO EM INTERFERÔMETROS ÓPTICOS DE MEMS

Resumo:

Um interferômetro de sistema microeletromecânico (MEMS) permite a autocalibração do posicionamento do espelho de um espelho móvel. O espelho móvel é acoplado a um atuador MEMS com uma capacitância variável. O interferômetro MEMS inclui um circuito de detecção capacitiva para determinar a capacitância do atuador MEMS em duas ou mais posições conhecidas do espelho móvel e um módulo de calibração para usar as capacitâncias do atuador nas posições conhecidas para compensar qualquer desvio no circuito de detecção capacitiva.