การสอบเทียบด้วยตนเองสำหรับการวางตำแหน่งกระจกในอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ออปติคอล เมม

บทคัดย่อ:

อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) ช่วยให้สามารถสอบเทียบตำแหน่งกระจกของกระจกเคลื่อนที่ได้ด้วยตนเองกระจกแบบเคลื่อนย้ายได้ถูกเชื่อมต่อกับแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่มีความจุแบบผันแปรอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS ประกอบด้วยวงจรตรวจจับแบบคาปาซิทีฟสำหรับกำหนดความจุของแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่ตำแหน่งที่รู้จักกันอย่างน้อยสองตำแหน่งของกระจกเคลื่อนที่ได้และโมดูลสอบเทียบสำหรับใช้ความจุของแอคทูเอเตอร์ในตำแหน่งที่รู้จักเพื่อชดเชยการดริฟฟต์ใด ๆ ในวงจรตรวจจับแบบ Capacitive