光学 MEMS 干涉仪镜像定位的自校准

摘要：

微机电系统 (MEMS) 干涉仪可对可移动反射镜的镜像位置进行自校准。可移动的反射镜与具有可变电容的微机电系统执行器耦合。微机电系统干涉仪包括一个电容感应电路，用于确定可移动反射镜的两个或多个已知位置的微机电系统执行器的电容，以及一个校准模块，用于使用已知位置的执行器电容来补偿电容感应电路中的任何漂移。