Couverture sélective des étapes pour les structures microfabriquées

Résumé :

Un masque d'ombre comportant au moins deux niveaux d'ouvertures permet de couvrir des étapes sélectives de structures microfabriquées dans un dispositif de banc micro-optique. Le masque d'ombre comprend une première ouverture à l'intérieur d'une surface supérieure du masque d'ombre et une seconde ouverture à l'intérieur de la surface inférieure du masque d'ombre. La seconde ouverture est alignée avec la première ouverture et présente une seconde largeur inférieure à la première largeur de la première ouverture. Un chevauchement entre la première ouverture et la seconde ouverture forme un trou dans le masque d'ombre à travers lequel un revêtement sélectif de structures microfabriquées à l'intérieur du dispositif de banc micro-optique peut être appliqué.