Cobertura selectiva de escalones para estructuras microfabricadas

Resumen:

Una máscara de sombras con dos o más niveles de aberturas permite una cobertura escalonada selectiva de estructuras microfabricadas dentro de un dispositivo de banco microóptico. La máscara de sombras incluye una primera abertura dentro de la superficie superior de la máscara de sombras y una segunda abertura dentro de la superficie inferior de la máscara de sombras. La segunda abertura está alineada con la primera abertura y tiene una segunda anchura inferior a la primera anchura de la primera abertura. Una superposición entre la primera abertura y la segunda abertura forma un orificio dentro de la máscara de sombra a través del cual puede producirse un recubrimiento selectivo de las estructuras microfabricadas del interior del dispositivo de banco microóptico.