Cobertura seletiva de etapas para estruturas microfabricadas

Resumo:

Uma máscara de sombra com dois ou mais níveis de aberturas permite a cobertura seletiva de etapas de estruturas microfabricadas dentro de um dispositivo de bancada microóptica. A máscara de sombra inclui uma primeira abertura na superfície superior da máscara de sombra e uma segunda abertura na superfície inferior da máscara de sombra. A segunda abertura está alinhada com a primeira abertura e tem uma segunda largura menor que a primeira largura da primeira abertura. Uma sobreposição entre a primeira abertura e a segunda abertura forma um orifício dentro da máscara de sombra através do qual pode ocorrer um revestimento seletivo de estruturas microfabricadas dentro do dispositivo de bancada microóptica.