Interféromètre MEMS optique basé sur la division du faisceau spatial

Résumé :

Un type d'interféromètre à microsystèmes électromécaniques optiques (MEMS) basé sur la division du faisceau spatial comprend le séparateur spatial de faisceaux pour l'espace du faisceau lumineux d'entrée à transmettre en deux faisceaux interférométriques et le dispositif de regroupement spatial pour deux espaces de faisceaux interférométriques à fermer au faisceau. Une sorte de miroirs mobiles MEMS est prévue, pour générer la différence de chemin optique entre le premier faisceau d'interféromètre et le second faisceau d'interféromètre.