基于空间光束分裂的光学微机电系统干涉仪

摘要：

一种基于空间光束分裂的光学微机电系统（MEMS）干涉仪包括用于将输入光束空间射成两束干涉仪光束的空间光束分离器和用于两个干涉仪光束空间与光束封闭的空间捆绑装置。提供了一种微机电系统可移动反射镜，用于生成第一干涉仪光束和第二干涉仪光束之间的光路差。