Interferómetro MEMS óptico basado en la división de haces espaciales

Resumen:

Un tipo de interferómetro de sistemas microelectromecánicos ópticos (MEMS) basado en la división de haces espaciales incluye el separador de haces espaciales para que el espacio del haz de luz de entrada se transmita en dos haces de interferómetro y el dispositivo de agrupamiento de espacios para dos espacios de haz de interferómetro que se cierran al haz. Se proporciona una especie de espejos móviles MEMS para generar la diferencia de trayectoria óptica entre el primer haz de interferómetro y el segundo haz de interferómetro.