Interferômetro óptico MEMS baseado na divisão do feixe espacial

Resumo:

Um tipo de interferômetro de sistemas microeletromecânicos ópticos (MEMS) baseado na divisão do feixe espacial inclui o separador de feixe espacial para entradas de espaço do feixe de luz a ser transmitido em dois feixes de interferômetro e o dispositivo de agrupamento de espaço para dois espaços de feixe de interferômetro a serem fechados ao feixe. Um tipo de espelhos móveis MEMS é fornecido, para gerar a diferença de caminho óptico entre o primeiro feixe de interferômetro e o segundo feixe de interferômetro feixe de interferômetro.