Banc micro-optique à surfaces optiques hautement contrôlées

Résumé :

Divers aspects de la présente invention concernent un dispositif de banc micro-optique fabriqué par un procédé qui permet de contrôler une ou plusieurs propriétés du dispositif de banc micro-optique et/ou une ou plusieurs propriétés des surfaces optiques du dispositif de banc micro-optique. Le procédé consiste à graver un substrat pour former une structure permanente comprenant des éléments optiques et une structure temporaire. La forme de la structure temporaire et les espaces entre la structure temporaire et la structure permanente facilitent le contrôle d'une propriété du banc micro-optique et/ou des surfaces optiques des éléments optiques qu'il contient. La propriété peut inclure, par exemple, la rugosité de surface, le revêtement sélectif des surfaces ou les angles d'inclinaison des surfaces par rapport à un plan du substrat. Le procédé consiste en outre à retirer la structure temporaire d'un trajet optique du dispositif de banc micro-optique. La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif de banc micro-optique selon la revendication 1, et des aspects subsidiaires de l'invention sont fournis dans les revendications dépendantes.