Dispositivo de bancada microóptico com superfícies ópticas altamente controladas

Resumo:

Vários aspectos da presente divulgação fornecem um dispositivo de bancada micro-óptica fabricado por um processo que fornece controle sobre uma ou mais propriedades do dispositivo de bancada micro-óptica e/ou uma ou mais propriedades de superfícies ópticas no dispositivo de bancada micro-óptica. O processo inclui a gravação de um substrato para formar uma estrutura permanente, incluindo elementos ópticos e uma estrutura temporária. A forma da estrutura temporária e as lacunas entre a estrutura temporária e a estrutura permanente facilitam o controle de uma propriedade da bancada micro-óptica e/ou das superfícies ópticas dos elementos ópticos nela contidos. A propriedade pode incluir, por exemplo, rugosidade superficial, revestimento seletivo de superfícies ou ângulos de inclinação das superfícies em relação a um plano do substrato. O processo inclui ainda a remoção da estrutura temporária de um caminho óptico do dispositivo de bancada micro-óptica. A presente invenção é direcionada a um método para fabricar um dispositivo de bancada micro-óptica de acordo com a reivindicação 1, e aspectos subsidiários da invenção são fornecidos nas reivindicações dependentes.