具有高度可控光学表面的微型光学台式设备

摘要：

本披露的各个方面都提供了一种微光学台式设备，该装置通过一种工艺制造而成，该工艺可以控制微光学台架设备的一个或多个特性和/或微光学台架设备中光学表面的一种或多种特性。该过程包括蚀刻衬底以形成包括光学元件和临时结构在内的永久结构。临时结构的形状以及临时结构和永久结构之间的间隙便于控制微光学平台和/或其中光学元件的光学表面的特性。例如，该特性可能包括表面粗糙度、表面的选择性涂层或表面相对于基材平面的倾角。该过程还包括从微型光学台架设备的光路中移除临时结构。 本发明针对一种根据权利要求1制造微型光学台式设备的方法，附属索赔中提供了本发明的附属方面。