Dispositivo de mesa microóptico con superficies ópticas altamente controladas

Resumen:

Diversos aspectos de la presente descripción proporcionan un dispositivo de banco microóptico fabricado mediante un proceso que proporciona el control sobre una o más propiedades del dispositivo de banco microóptico y/o una o más propiedades de las superficies ópticas en el dispositivo de banco microóptico. El proceso incluye grabar un sustrato para formar una estructura permanente que incluye elementos ópticos y una estructura temporal. La forma de la estructura temporal y los huecos entre la estructura temporal y la estructura permanente facilitan el control de una propiedad de la mesa microóptica y/o de las superficies ópticas de los elementos ópticos de la misma. La propiedad puede incluir, por ejemplo, la rugosidad de la superficie, el revestimiento selectivo de las superficies o los ángulos de inclinación de las superficies con respecto a un plano del sustrato. El proceso incluye además retirar la estructura temporal de una trayectoria óptica del dispositivo de banco microóptico. La presente invención se refiere a un método para fabricar un dispositivo microóptico de mesa según la reivindicación 1, y un aspecto secundario de la invención se proporciona en las reivindicaciones dependientes.