Banc micro-optique à surfaces optiques hautement contrôlées

Résumé :

Un dispositif de banc micro-optique est fabriqué par un procédé qui permet de contrôler une ou plusieurs propriétés du dispositif de banc micro-optique et/ou une ou plusieurs propriétés des surfaces optiques du dispositif de banc micro-optique. Le procédé consiste à graver un substrat pour former une structure permanente comprenant des éléments optiques et une structure temporaire. La forme de la structure temporaire et les espaces entre la structure temporaire et la structure permanente facilitent le contrôle d'une propriété du banc micro-optique et/ou des surfaces optiques qu'il contient. Le procédé consiste en outre à retirer la structure temporaire d'un trajet optique du dispositif de banc micro-optique.