อุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติคอลที่มีพื้นผิวออปติคัลควบคุมสูง

บทคัดย่อ:

อุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติคอลถูกประดิษฐ์โดยกระบวนการที่ให้การควบคุมคุณสมบัติอย่างน้อยหนึ่งอย่างของอุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติคอลและ/หรือคุณสมบัติหนึ่งอย่างขึ้นไปของพื้นผิวออปติคัลในอุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติคอลกระบวนการนี้รวมถึงการแกะสลักพื้นผิวเพื่อสร้างโครงสร้างถาวรรวมถึงองค์ประกอบออปติคัลและโครงสร้างชั่วคราวรูปร่างของโครงสร้างชั่วคราวและช่องว่างระหว่างโครงสร้างชั่วคราวและโครงสร้างถาวรช่วยอำนวยความสะดวกในการควบคุมคุณสมบัติของม้านั่งไมโครออปติคอลและ/หรือพื้นผิวออปติคัลในนั้นกระบวนการนี้ยังรวมถึงการลบโครงสร้างชั่วคราวออกจากเส้นทางออปติคัลของอุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติคอล