具有高度可控光学表面的微型光学台式设备

摘要：

微光学台架设备是通过一种过程制造的，该过程可以控制微光学台架设备的一个或多个特性和/或微光学台架设备中光学表面的一种或多种特性。该过程包括蚀刻衬底以形成包括光学元件和临时结构在内的永久结构。临时结构的形状以及临时结构和永久结构之间的间隙便于控制微光学平台和/或其中的光学表面的特性。该过程还包括从微型光学台架设备的光路中移除临时结构。