Dispositivo de bancada microóptico com superfícies ópticas altamente controladas

Resumo:

Um dispositivo de bancada microóptica é fabricado por um processo que fornece controle sobre uma ou mais propriedades do dispositivo de bancada micro-óptica e/ou uma ou mais propriedades de superfícies ópticas no dispositivo de bancada microóptica. O processo inclui a gravação de um substrato para formar uma estrutura permanente, incluindo elementos ópticos e uma estrutura temporária. A forma da estrutura temporária e as lacunas entre a estrutura temporária e a estrutura permanente facilitam o controle de uma propriedade da bancada micro-óptica e/ou das superfícies ópticas nela contidas. O processo inclui ainda a remoção da estrutura temporária de um caminho óptico do dispositivo de bancada micro-óptica.