Micromiroir perforé intégré et ses applications

Résumé :

Une sorte d'interféromètre MEMS (MEMS) permet l'auto-étalonnage du positionnement du spéculum du miroir mobile. Le miroir mobile est couplé à l'actionneur MEMS à capacité variable.Des interféromètres MEMS sont inclus pour déterminer dans le circuit de détection de capacité la capacité de l'actionneur MEMS de deux ou plusieurs positions connues du miroir mobile et pour la capacité de l'actionneur en position connue à utiliser pour réaliser le module d'étalonnage de toute dérive dans circuit de détection de capacité électrique de compensation.