集成开孔微镜及其应用

摘要：

一种微机电系统（MEMS）干涉仪可对可移动反射镜的窥镜定位进行自校准。可移动反射镜耦合到具有可变电容的微机电系统执行器。微机电系统干涉仪用于在电容感应电路中测定两个或多个可移动镜子已知位置的微机电系统执行器的电容，以及已知位置的执行器电容用于执行任何漂移的校准模块补偿电容量传感电路。