ไมโครมิเรอร์แบบรูรับแสงแบบบูรณาการและการใช้งาน

บทคัดย่อ:

อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS (MEMS) ชนิดหนึ่งให้การสอบเทียบตำแหน่งสเปกุลของกระจกเคลื่อนที่ได้ด้วยตนเองกระจกเคลื่อนที่ได้เชื่อมต่อกับแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่มีความจุแบบแปรอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS รวมอยู่สำหรับการกำหนดในวงจรตรวจจับความจุของแอคชูเอเตอร์ MEMS ของตำแหน่งที่รู้จักกันอย่างน้อยสองตำแหน่งของกระจกเคลื่อนที่และสำหรับความจุของแอคชูเอเตอร์ในตำแหน่งที่รู้จักเพื่อใช้ในการพกพา ออกโมดูลสอบเทียบของดริฟต์ใด ๆ ในวงจรตรวจจับความจุไฟฟ้าชดเชย