Microrespelho aberto integrado e suas aplicações

Resumo:

Um tipo de interferômetro MEMS (MEMS) fornece a autocalibração do posicionamento do espéculo do espelho móvel. O espelho móvel é acoplado ao atuador MEMS com capacitância variável. Os interferômetros MEMS são incluídos para determinar no circuito de detecção de capacitância a capacitância do atuador MEMS de duas ou mais posições conhecidas do espelho móvel e para a capacitância do atuador na posição conhecida a ser usada para execute o módulo de calibração de qualquer desvio no circuito de detecção de capacidade elétrica compensadora.