Une sorte de technologie de la position du miroir déterminée dans un interféromètre optique

Résumé :

Une sorte de système interférométrique MEMS (microsystème électromécanique) (MEMS) utilise la position du miroir mobile de détermination du circuit de détection de capacité. Un actionneur MEMS électrostatique est placé sur un miroir mobile pour provoquer son déplacement. Le circuit de détection de capacité détecte la capacité présente de l'actionneur MEMS et la position du miroir mobile de détermination de la capacité présente sur la base de l'actionneur MEMS.