Un tipo de tecnología de la posición del espejo determinada en el interferómetro óptico

Resumen:

Una especie de sistema de interferómetro MEMS (sistema microelectromecánico) (MEMS) utiliza la posición del espejo móvil de determinación del circuito de detección de capacitancia. Del actuador MEMS electrostático al espejo móvil para provocar su desplazamiento. El circuito de detección de capacitancia detecta la capacitancia presente del actuador MEMS y la posición del espejo móvil de determinación de la presencia de capacitancia según el actuador MEMS.