เทคโนโลยีประเภทหนึ่งของตำแหน่งกระจกที่กำหนดในออปติคัลอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์

บทคัดย่อ:

ระบบอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS (micro electro Mechanical System) (MEMS) ชนิดหนึ่งใช้ตำแหน่งของการกำหนดวงจรตรวจจับความจุกระจกเคลื่อนที่ได้อัคชูเอเตอร์ MEMS ไฟฟ้าสถิตไปยังกระจกเคลื่อนที่เพื่อทำให้เกิดการเคลื่อนย้ายวงจรตรวจจับความจุจะตรวจจับความจุที่มีอยู่ของแอคชูเอเตอร์ MEMS และตำแหน่งของการกำหนดความจุในปัจจุบันกระจกเคลื่อนที่ได้ตามแอคชูเอเตอร์ MEMS